日本EBARA荏原風冷無油干式真空泵 ESA80W-HDF8400L/min 大抽速，多級非接觸羅茨全無油結(jié)構(gòu)，無碳氫污染晶圓。搭載 HDF 集成氣鎮(zhèn)與氮氣吹掃...

EBARA荏原水冷小型無油干式羅茨真空泵EV-S201670L/min 穩(wěn)定抽速，多級非接觸羅茨全無油結(jié)構(gòu)，杜絕碳氫污染工件。整機小型輕量化便于設備集成，水冷恒...

日本EBARA荏原陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵EBT450F氮氣抽速 450L/s，陶瓷軸承結(jié)構(gòu)耐受頻繁啟停與意外大氣沖入，運行穩(wěn)定性強。支持任意姿態(tài)安裝，風冷 / ...

日本EBARA荏原陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵EBT240F氮氣抽速 240L/s，陶瓷軸承結(jié)構(gòu)耐受頻繁啟停與突發(fā)大氣沖入，運行穩(wěn)定。標配風冷，支持任意姿態(tài)安裝；搭配...

日本EBARA荏原陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵EBT220F氮氣抽速 220L/s，陶瓷滾珠軸承結(jié)構(gòu)，耐受頻繁啟停與突發(fā)大氣沖入，穩(wěn)定性優(yōu)良。標配風冷，支持任意姿態(tài)安...

日本EBARA荏原陶瓷滾珠軸承渦輪分子泵EBT70F氮氣抽速 70L/s，陶瓷滾珠軸承結(jié)構(gòu)，抗氣流沖擊、耐受頻繁啟停，機身小巧輕量化。標配風冷，支持任意姿態(tài)安裝...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵EMT4200MK氮氣抽速 4200L/s，轉(zhuǎn)子電磁懸浮無機械摩擦，杜絕油脂返流污染真空腔體。一體化集成控制器布線極簡，適...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵EMT3400MK氮氣抽速 3300L/s，轉(zhuǎn)子電磁懸浮無機械摩擦，杜絕油脂返流污染真空腔體。一體化集成控制器布線簡單，適...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT2200MK氮氣抽速 2200L/s，轉(zhuǎn)子電磁懸浮無機械摩擦，無油脂返流污染真空腔體。一體化集成控制器布線簡單，標...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT1700MK氮氣抽速 1650L/s，轉(zhuǎn)子電磁懸浮無機械摩擦，無油脂返流污染真空腔體。一體化集成控制器布線簡單，設...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT2400M氮氣抽速 2400L/s，磁懸浮轉(zhuǎn)子無機械摩擦、無油脂揮發(fā)污染真空腔體。分離式控制器布局靈活，振動極低；...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵 EMT1307M氮氣抽速 1300L/s，磁懸浮轉(zhuǎn)子無機械摩擦、無油脂揮發(fā)污染真空腔體。分離式控制器布局靈活，振動極低；...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵EMT907M 氮氣抽速 900L/s，磁懸浮轉(zhuǎn)子無摩擦、無油脂揮發(fā)污染真空腔體。分離式控制器布局靈活，振動極低，適配中型...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵EMT427M 氮氣抽速 400L/s，磁懸浮轉(zhuǎn)子無摩擦、無油脂揮發(fā)污染真空腔體。分離式控制器布線靈活，振動極低，適配對震...

日本EBARA荏原五軸磁懸浮渦輪分子泵EMT397M 340L/s 穩(wěn)定抽速，五軸磁懸浮轉(zhuǎn)子無機械接觸、全程無碳氫污染。振動極低、無需定期更換軸承潤滑介質(zhì)，使用...

EBARA荏原 水冷強防腐螺桿式無油干式真空泵EST800WN水冷超大流量強防腐螺桿干泵，穩(wěn)定抽速 80000L/min，腔體恒溫控溫抑制 NH?Cl、硅基粉末...

EBARA荏原 水冷強防腐螺桿式無油干式真空泵EST300WN穩(wěn)定抽速 30000L/min，腔體恒溫控溫抑制 NH?Cl、硅基粉末結(jié)晶堵塞。氣流通道 PFA ...

EBARA荏原 水冷強防腐螺桿式無油干式真空泵EST200WN抽速 20000L/min，腔體恒溫控溫技術(shù)抑制 NH?Cl、硅粉副產(chǎn)物結(jié)晶堵塞。腔體 PFA 特...

日本EBARA荏原 水冷螺桿式無油干式真空泵EST100WN穩(wěn)定抽速 10000L/min，泵腔高溫恒溫抑制副產(chǎn)物結(jié)晶堵塞。氣體接觸面 PFA 內(nèi)襯長效耐受 H...

日本EBARA荏原 水冷螺桿式無油干式真空泵EST25N穩(wěn)定抽速 2500L/min，泵腔高溫控溫抑制工藝副產(chǎn)物結(jié)晶堵塞。氣體接觸面耐蝕涂層適配微量鹵素、有機蒸...